خلاصه مقاله
این مقاله در مورد آنالیز سطح لایههای نازک آلومینیوم خالص توسط AFM میباشد و فیلمها از طریق کندوپاش مگنترون rf در توانهای rf 150 و 200 وات بر روی زیرلایههای فولادی ضد زنگ و ملایم رسوب میکنند و نتیجه این مقاله نشان میدهد که مورفولوژی ساختارهای سطحی فیلم های Al با قدرت و نوع بستر متفاوت است.